| 产品特性：LC-450D | 是否进口：否 | 产地：LC-450D |
| 加工定制：否 | 品牌：TORAY东丽 | 型号：LC-450D |
| 功率：氧气分析仪KW | 额定电压：LC-450DV | 产品认证：LC-450D |
| 速度响应频率：氧气分析仪KHz | 适用电机：氧气分析仪 |
LC-450D
酸素濃度計半導体?液晶?電子部品関連用途Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
氧气分析仪
酸素濃度計 MS-500
8ポイントを同時測定が可能
ppmレベルから***の幅広い濃度表示が出来ます。
半導体製造装置、真空装置等への搭載に最適
センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上
MS-500 機器仕様
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | |
|---|---|---|
| 形状 | 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式） | |
| 表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | |
| 測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動レンジ | |
| 繰返性 | ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上 ±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外 | |
| 測***数 | 1～8 | |
| サンプルガス条件 | 圧力 | 10-3～200KPa（絶対圧） |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定) | |
| 湿度 | 露点が周囲温度以下 | |
| 温度 | 0～100℃ | |
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | |
| 比較ガス | 大気 | |
| 記録計出力 | 伝送出力のみ | |
| 伝送出力 | RS-232C | |
| 警報出力 | なし | |
| ウォームアップ時間 | 6分以内 | |
| 寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) |
| MS-510(変換機) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | |
| センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51) |
| SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48) | |
| SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49) | |
| 質量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg |
| MS-510(変換器) | 約0.5kｇ | |
| センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg |
| SD25NW | 約0.2Kg | |
| SD40NW | 約0.35Kg | |
| 外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | |
| 使用電源 | 24VDC±10% |
酸素濃度計 LC-450A、LC-450D
