| 产品特性：TORAY东丽 | 是否进口：否 | 产地：MS-500 |
| 加工定制：否 | 品牌：TORAY东丽 | 型号：MS-500 |
| 功率：MS-500KW | 额定电压：MS-500V | 产品认证：MS-500 |
| 速度响应频率：MS-500KHz | 适用电机：MS-500 |
日本TORAY东丽
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
酸素濃度計 MS-500
8ポイントを同時測定が可能
ppmレベルから***の幅広い濃度表示が出来ます。
半導体製造装置、真空装置等への搭載に最適
センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)
高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上
MS-500 機器仕様
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | |
|---|---|---|
| 形状 | 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式） | |
| 表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | |
| 測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動レンジ | |
| 繰返性 | ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上 ±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外 | |
| 測***数 | 1～8 | |
| サンプルガス条件 | 圧力 | 10-3～200KPa（絶対圧） |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定) | |
| 湿度 | 露点が周囲温度以下 | |
| 温度 | 0～100℃ | |
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | |
| 比較ガス | 大気 | |
| 記録計出力 | 伝送出力のみ | |
| 伝送出力 | RS-232C | |
| 警報出力 | なし | |
| ウォームアップ時間 | 6分以内 | |
| 寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) |
| MS-510(変換機) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | |
| センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51) |
| SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48) | |
| SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49) | |
| 質量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg |
| MS-510(変換器) | 約0.5kｇ | |
| センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg |
| SD25NW | 約0.2Kg | |
| SD40NW | 約0.35Kg | |
| 外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | |
| 使用電源 | 24VDC±10% |
酸素濃度計 LC-450A、LC-450D
幅広い濃度域での測定
ppmレベルから***の幅広い濃度表示が出来ます。
センサの耐久性を向上
酸素センサに特殊加工を施し耐久性が向上しました。
ACワイド電源 AC100～240VAC(LC-450A)
※LC-450DはDC24V駆動
コンパクトで設置が容易
当社従来機種より奥行きがさらに短くなり、場所をとりません。
RoHS指令対応品
CEマーキング自己宣言品
EN61010-1:2002，EN61326:+A3:2003
LC-450A 機器仕様
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 卓上型/パネル取り付け型 | ||
| 表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | ||
| 測定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動レンジ | ||
| 繰返性 | ±1%FS以内 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外 | ||
| サンプリング方式 | 内蔵ポンプによる連続吸引式 | ||
| サンプルガス条件 | 圧力 | 30KPa以下の加圧 | |
| 流量 | 1,000～2,000mL/min | ||
| 湿度 | 露点が周囲温度以下 | ||
| 温度 | 0～50℃ | ||
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
| 比較ガス | 大気 | ||
| 記録計 出力 | 酸素濃度出力 | 4-20mAまたは0-20mAの切り替え(オプションで0-10V) 絶縁、負荷抵抗550Ω以下 記録計出力レンジをフルスケールとし、酸素濃度にリニアな出力 | |
| 出力レンジ | 0-***、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定レンジ | ||
| 伝送出力 | RS-232C | ||
| 警報出力 | FAIL(装置異常) | 1点 | 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下 装置異常発生で接点閉(接点動作変更可能) |
| ALM(濃度警報) | 2点(H/L) | 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下 警報発生で接点閉(接点動作変更可能) | |
| RDY(暖機信号) | 1点 | 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下
| |
| MRK(レンジマーカ)出力 | 2点 | 無電圧接点、接点容量 30VDC/AC以下、0.5A以下 | |
| ウォームアップ時間 | 5分以内 | ||
| 寸法 | 本体 | 210(W)×134(H)×300(D)mm (突起部含まず) | |
| 質量 | 約6kｇ | ||
| ガス 接続口 | INLET | Rc1/4 | |
| BYPASS OUT | Rc1/4 | ||
| OUTLET | Rc1/4 | ||
| 使用電源 | 100～240VAC、50VA(定常時：35VA) 50Hz/60Hz |
LC-450D 機器仕様
